可编程控制模块

 

多设备双线 RS-485/MODBUS RTU 通信方式

简易流量控制安装

 

在质量流量测量基础上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2质量流量计或流量控制器使得设备网络组态更加方便。通过开源RTU协议，Compod™也可以监控或诊断流量控制器的内部系统参数值。用户在配备了Compod™后可以对Smart-Trak®质量流量计和控制器进行更复杂的控制，两路数字输出和一路模拟输入可以对以下工艺参数进行配置 

 

 

 

      • Gas mixing and blending

      • Batch control

      • Sensor driven leak testing

      • Process monitoring

      • Physical Vapor Deposition (Sputtering)

      • 压力监控及控制

      • 气体比率控制

      • 内部阀门性能监测

      • 多报警信号设置

      • 客户自定义流量启动停止配置

      • 气体累计及可调脉冲输出设置

 

 

加配我们的创新Compod模块到Smart-Trak 2产品上，简单，节省费用

加载Compod后Smart-Trak 2可完整组网，通过RS-485 Modbus RTU通信。成为了客户低成本的强大多功能气体控制系统的选择

具备搭接多台MFC到同一网络，收发数据，报警命令设置及远程诊断，数据记录功能

Smart-Trak 2 Compod模块为复杂的多气体控制系统大大降低成本