其他机器人
EFEM设备
2023-09-14 16:18  182次点击
2Port-4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control.
FOOTPRINT Optimization / FFU Differential-Pressure Interaction Mode / Enable smooth top down air flow with enclosure structure
OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE。
主要特征:

■ Carrier : 300mm FOUP (SEMI E47.1-1101)

■ Cleanliness : ISO Class1

■ Repeatability : ±0.1mm

■ Electric Supply : 208VAC±10%, 3Phase

■ Acoustic Noise : < 70dB

■ Communication : Ethernet

联系方式
公司:罗普伺达机器人(上海)有限公司
发信:点此发送
姓名:银国安(先生)
电话:021-52708565咨询
手机:18665351196咨询
地址:上海市普陀区云岭西路356弄5号4楼
邮编:200333