安川机器人MCL165适用于洁净室内大型重物的搬运。负载重达165KG，洁净度达到ISO6级。

洁净室搬运机器人
负载：165KG
动态范围：2650mm
控制柜：DX100
用途：搬运、半导体、洁净室

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保整个洁净室的洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。

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