手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。
| 项目 | 规格 | 备注 | |
|---|---|---|---|
| 名称 | SEMISTAR-VD95D | ||
| 机型 | XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆) | ||
| 构造 | 水平多关节形(4个自由度) | ||
| 动作范围 | L，R轴(伸缩) | 2300mm | |
| S轴(旋转) | -170°~+170° | ||
| U轴(升降) | 150mm | ||
| 动作时间*1 (***高速度运作时) |
L，R轴(伸缩) | 3.2秒以下 | 2300mm伸缩距离 |
| S轴(回转) | 3.8秒以下 | 340deg旋转距离(但L，R=0) | |
| U轴(升降) | 2.5秒以下 | 150mm升降距离 | |
| 重复定位精度*2 | 各轴±0.3mm | 抓手安装部分中心位置时 | |
| 手臂抖动精度 | ±0.3mm以下 | 水平方向，抓手安装部分中心位置时 | |
| 负载 | 95KG/手臂 | 含抓手重量 | |
| 容许惯性力矩(CD2/4) | ***大118kg·m2 | 含抓手重量，抓手安装部分中心位置时 | |
| 耐真空度 | 1*10-6Pa | ||
| 本体质量 | 1500kg | ||
| 适用控制柜式样 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V，3.0kVA | |
*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。
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