校准器NS004手册.pdf川崎提供一个可编程的高速校准器外设，用于搬运晶圆。
校准器是专为搭配300 mm和下一代450 mm晶圆使用而设计的。
校准器是专为搭配300 mm和下一代450 mm晶圆使用而设计的。
高速校准，只需2.5秒
选配的200 mm和300 mm之间的自动切换功能
可编程设置对齐角度
也可用于石英晶片校准
无尘机器人控制器，
用于控制所述校准器全速时可提供±0.1度的对准精度选配的举升销装备可用于中心拾取
选配的200 mm和300 mm之间的自动切换功能
可编程设置对齐角度
也可用于石英晶片校准
无尘机器人控制器，
用于控制所述校准器全速时可提供±0.1度的对准精度选配的举升销装备可用于中心拾取
