洁净室搬运机器人
参数:
负载:165Kg
动态范围:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬运、半导体、洁净室
产品特点:
1、大负载:165KG
2、大动作范围:*大水平伸长达2650mm,动作*大高度达3130mm。
3、洁净度达到ISO6级,可实现高度柔性的系统布局。
具体参数:
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注意事项:
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。
更多详情咨询请点击:http://yaskawa-robots.gongboshi.com/
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。
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