自主的双脉冲方式的高性能固体激光退火装置。
具备固体激光器的特征—高重复率、高脉冲能量稳定性、无需维护、紧凑型设计，促进下一代开发。
GLE/SWA系列基本规格 Specifications
液晶用激光退火装置 GLE-4300
半导体用激光退火装置 SWA-4300
| 项目 | for FPD GLE-4300 / GLE-9700 |
for Semiconductor SWA-90GD |
|
|---|---|---|---|
| 工件尺寸 | ～730x920mm | ～φ300mm | |
| 激光输出 | 75W x 2 (Double Pulse) | ||
| 振荡频率 | 25mJ@3kHz | ||
| 能量稳定性 | Q3% (rms) | ||
| 脉冲延迟 | 0～333us | ||
| 延迟时间波动 | Q20ns (rms) | ||
| 光束尺寸 | 宽度 | <50um | <0.25mm |
| 长度 | ～150mm | ～25mm | |
| 工艺环境 | N2/Air | ||
| 工艺温度 | R.T. | ||
