*适于低温多晶硅TFT的量产。
用本公司自产的激光与光学系统来追求模块化的ELA系列。
基板尺寸*大达730×920mm的受激准分子激光退火装置实现标准化。
ELA-TW系列是对应高产量的量产装置，它搭载着包括双系统的准分子激光振荡器和光学系统的总体系统。
特征
作为受激准分子激光退火装置的量产设备，已形成了适于基板尺寸300×400mm～1200×1300mm的ELA-TW系列的产品阵容。目前，大型基板用装置正在量产中。使用自主技术成功地开发出双受激准分子激光器和双处理室系统，成功地实现了全部元件的国产化。
ELA系列激光退火系统基本规格 Specifications
| 项目/系列 | ELA7600 | ELA9700 | ELA1211 | ELA1312 |
|---|---|---|---|---|
| 基板尺寸 | 600x750mm | 730x920mm | 1100x1250mm | 1200x1300mm |
| 光束尺寸 | 200mm、300mm、320mm、365mm | |||
| 激光输出 | 200W、240W、300W | |||
| 脉冲能量 | 666mJ、800mJ、1000mJ | |||
| 振荡频率 | 300Hz | |||
| 工艺环境 | N2/air | |||
| 工艺温度 | R.T. | |||
| 照射能量密度 | Max. 450mJ/cm2 | |||
| 光束长度 | 100～200mm | 200～300mm | 240～320mm | 365mm |
| 光束宽度 | 0.55～1.5mm | 0.35～0.6mm | 0.35～0.6mm | 0.35～0.6mm |
