半导体机器人 10500mm/s:1600mm/s0.01mm:0.01mm3kg:20kg 197 EFEM设备 0.1um:0.5um1um:5um0.05um:0.2um 182 直角坐标机器人 RS:RCRJ:RFRM:0.01mm 464 6轴机器人 930:0.03mm170度:-90~140-205~+67:190 129